”
“更变态的是，为了提高效率，现在都是双工作台。一个台子在底下测量，另一个在上面曝光。等曝光完了，两个台子还要在极其狭小的空间里瞬间互换位置，期间不能有任何震动。”
陈立峰指着报告上的数据，语气激动：“原本朱教授团队在实验室里只有初代样机。但这大半年来，天卓精密直接搞出了商业量产级别的工程机！在高速运动下，咱们晶圆台的定位精度已经压缩到了惊人的1.5纳米！双台交接的同步延迟几乎为零，彻底打破了阿斯麦（ASML）在这项专利上的垄断！”
许晨满意地点了点头：“1.5纳米的精度，这比原计划快太多了。这台子稳，咱们的光刻机跑得就快。那激光那边呢？”
陈立峰翻开第二份文件：“光源这边，我们盯上的是中科院光电所的郑勇博士团队。联合光电所以及国内几家半导体材料企业，我们控股组建了天虹激光科技股份有限公司。”
“光刻机的光源，可以说是雕刻芯片的那把‘刀’。”陈立峰解释道，“我们不能用普通光，波长太大刻不细，必须用深紫外激光。这就好比在一粒米上刻字，必须用最细的手术刀。”
“但这把手术刀其实是个闪光灯。它需要在一秒钟内连续闪烁几千次，而且每一次释放的能量必须绝对一样，不能多一丝一毫，否则刻出来的电路就会深浅不一、导致短路。”
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