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第221章 长天光学突破[2 / 3]

王立国继续说道:“干式光刻机的物理极限NA是0.93。咱们这套NA0.85的镜头,已经完全能够支撑65纳米工艺节点的芯片量产!如果配合上芯片厂的多重曝光技术,它甚至能去摸一摸45纳米的门槛!这比国家原定的90纳米目标,整整跨越了一个大台阶!”

“好!太好了!”许晨拍了拍王立国的手臂,“能把NA0.85的干式物镜做出来,这就是咱们的入场券。先把65纳米的底子夯实,下一步咱们直接加水,去搞NA1.35的浸没式物镜,向28纳米冲刺!”

许晨转头看向身后的陈立峰:“给王院士团队的所有研发人员发奖金!从晨宇资本账户里拨五千万出来,作为这次攻克物镜系统的专项奖励!”

“我替同事们谢谢许总!”王立国也不客气,搞科研的也是人,不仅要讲情怀,更要讲真金白银。

……

许晨离开长天光学的无尘车间。

回到天宇集团总部的办公室,许晨脱下外套,喝了一口水。

晨宇资本负责人陈立峰一同进入。

当初去长春找王立国谈判,就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。

许晨坐下,目光转向陈立峰,“我之前交代你的另外两件事,目前进展怎么样了?”

造光刻机,有三座大山。

光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。

许晨早就知道,国家在2016年其实已经出了不少成果,但很多都停留在实验室阶段,缺乏商业化量产的稳定性。

光靠一个长天光学,造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后,他立刻让陈立峰带着资金,去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。

“许总,按照您的指示,这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”

陈立峰打开厚厚的公文包,拿出了两份绝密的文件递给许晨,“有了天宇的资金支持,他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”

“首先是超精密双工作台。”陈立峰指着第一份文件,“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去,联合水木大学,成立了天卓精密控制技术有限公司。”

陈立峰翻开报告:“许总,光刻机在曝光的时候,底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比,您需要在一列时速三百公里的高铁上,不仅要用针去穿线,而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。

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