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第149章 这怎么可能……[2 / 3]

是不允许他记录任何内容。

梁致远在椅子上坐下。

抬手扶了扶眼镜,看向面前已经点亮的显示器。

屏幕上是一份密密麻麻的技术目录。

【一、集成电路制造工艺技术资料库】

【第一类:晶圆制造与单晶硅材料】

【第二类:光刻技术与图形转移】

【第三类:等离子体刻蚀与薄膜沉积】

.......

一眼看去。

仅仅是最上层目录,便涉及了半导体制造的各个关键环节。

而且每一个大类后面,都标注着一个极其惊人的文件数量。

少则数千份。

多则数万份。

梁致远的眉头逐渐皱了起来。

一开始。

他还以为这只是将公开论文和行业资料整理到了一起。

可目录里的分类方式,却极为专业。

甚至连国内目前尚未完全掌握的部分技术路线,都被单独划分了出来。

梁致远没有浪费时间。

他的研究方向,主要集中在半导体材料、器件结构和集成电路工艺可靠性。

最近一段时间。

半导体所正在重点攻关的,正是六十五纳米工艺中的铜互连问题。

想到这里。

梁致远移动鼠标,点开了第六类。

【铜互连与低介电常数材料】

下一秒。

又是一长串更加详细的目录出现在屏幕上。

【铜互连电镀液配方及添加剂控制】

【钽及氮化钽扩散阻挡层沉积工艺】

......

梁致远的目光,猛地停在了最后一项上。

【六十五纳米工艺铜互连可靠性完整解决方案】

这正是他们半导体研究所目前正在进行的重点项目。

为了推进六十五纳米工艺量产,半个月前,所里才正式成立了专项小组,由他亲自担任项目负责人。

梁致远立刻点开了这份资料。

屏幕上再次出现了数十个子目录,一层套着一层,似乎详细到怎么也点不完。

梁致远连续点击五六次以后。

密密麻麻的数据、公式和实验图表,终于铺满了整个屏幕。

梁致远快速翻了两页。

原本放在鼠标上的右手,突然轻轻颤抖了一下。

“这……”

他下意识坐直身体,又往下翻了几页。

手指却抖得越来越明显。

“这怎么可能……”

资料中给出的。

正是他们项目组目前准备攻克的难题。

最近半个月。

整个项目组一直在研究,如何把界面扩散和应力迁移因素,加入现有的寿命预测模

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